矽氟橡膠也稱矽氟橡膠FVMQ，是一種由矽氧鍵形成主鏈，而鍘鏈上含有三氟烷基的高聚物，它的聚合法辦法與二甲基矽橡膠類似，是用環狀矽氧烷開環聚合法製作的。
氟矽橡膠的耐熱性及耐藥性格不如其它氟橡膠，但由於其主鏈含有矽氧鍵，而側基上又含有氟原子，它兼有兩者的長處，因此可以在-60℃-200℃非常寬的溫度區域中運用，且耐燃料油功能極好，對甲醇溶脹小，但缺點是物理機械功能比其它氟橡膠差。
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