硅氟橡胶也称硅氟橡胶FVMQ，是一种由硅氧键形成主链，而铡链上含有三氟烷基的高聚物，它的聚合法办法与二甲基硅橡胶类似，是用环状硅氧烷开环聚合法制作的。
氟硅橡胶的耐热性及耐药性格不如其它氟橡胶，但由于其主链含有硅氧键，而侧基上又含有氟原子，它兼有两者的长处，因此可以在-60℃-200℃非常宽的温度区域中运用，且耐燃料油功能极好，对甲醇溶胀小，但缺点是物理机械功能比其它氟橡胶差。
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